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[1]刘川,朱非甲,马伟,等.直线电机的线性自抗扰控制[J].电机与控制学报,2013,(01):71-76.
 LIU Chuan,ZHU Fei-jia,MA Wei,et al.Research on linear active disturbance rejection control over linear motor[J].,2013,(01):71-76.
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直线电机的线性自抗扰控制(PDF)
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《电机与控制学报》[ISSN:1007-449X/CN:23-1 408/TM]

卷:
期数:
2013年01
页码:
71-76
栏目:
出版日期:
2013-01-20

文章信息/Info

Title:
Research on linear active disturbance rejection control over linear motor
作者:
刘川; 朱非甲; 马伟; 陈兴林;
哈尔滨工业大学航天学院; 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所;
Author(s):
LIU Chuan1ZHU Fei-jia2MA Wei2CHEN Xing-lin1
1.School of Astronautics,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China; 2.Ultra Precision Optical Instrument Engineering Research Institute,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China
关键词:
光刻机 工件台 直线电机 线性自抗扰 前馈补偿 高动态精密伺服
Keywords:
-
分类号:
TP273;TM359.4
DOI:
-
文献标志码:
A
摘要:
光刻机的工件台是高动态精密伺服运动平台,它要求在系统高速运动的同时,采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,实现系统纳米级的精确定位及跟踪。为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的跟踪精度。针对该系统的直线电机模型设计了一种线性自抗扰控制方法,该方法的控制器首先通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的各种扰动,再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿,减小系统的动态跟踪误差。在此复合控制方式下,控制器实现了自抗扰控制,前馈控制器很好的补偿了误差,从而提高了系统的抗干扰和跟踪性能。实验表明,该方法与传统的控制方法相比,改善了系统的动态性能和抗干扰能力。
Abstract:
-

参考文献/References:

-

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备注/Memo

备注/Memo:
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
更新日期/Last Update: 2013-06-08